体积流量与质量流量
Bronkhorst气体热式质量流量计/控制器可以按如下单位范围来分: ln/min, sccm 或者m3n/h。这些单位看起来比较类似于体积单位,但是实际上是质量流量的表达方式。
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接下来的这个例子,质量流量实际上应该用重量单位来表示,比如g/h,mg/s等。然而,大多数的用户都会以为是体积单位。在这种情况下,只要所提供的条件与质量转换成体积的前提是一致,那么是不会受到任何的影响。根据欧洲的定义,温度0°C和1.013bar的压力都为”普通”基本参数,用基本字母”N” 来表示体积单位 (mln/min, m3n/h)。其次,温度 20°C和1.013bar压力被当作”标准” 基本参数,用基本字母”S”来表示体积单位 (mls/min, m3s/h)。请注意这其中的区别,因为该不同可能导致7%的错误。
根据”美国”定义在SCCM、SLM或者SCFH前缀中的字母”S”代表着”标准”参数:绝对压力101.325kPa(14.6959psia)和温度0°C (32°F)。
体积测量仪表,比如浮子流量计或者涡轮流量计,是不可能自己区分出温度或者压力的变化的;而质量流量测量也将需要通过额外的传感器来测量这些参数,除此之外,还需要通过一台流量计算机来弥补这些工艺条件参数的变化。但是热式质量流量计却几乎不受温度或者压力变化的影响。