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压力测量

Bronkhorst EL-PRESS压力传感器是一种硅晶片表面的压电电阻电桥。该晶片的背面被钻孔,从而与晶片内部形成了压力隔膜,该隔膜的厚度将决定其压力范围。当压力作用于这一芯片上时,该隔膜将变形,从而使得电桥的电阻值根据其压力所占的比例来改变。测量元件与外部压力是通过一个超薄的敏感不锈钢隔膜分开的,在隔膜以及元件中间的封闭腔中都被油所填充。