压力测量

Bronkhorst EL-PRESS压力传感器是一种硅晶片表面的压电电阻电桥。该晶片的背面被钻孔，从而与晶片内部形成了压力隔膜，该隔膜的厚度将决定其压力范围。当压力作用于这一芯片上时，该隔膜将变形，从而使得电桥的电阻值根据其压力所占的比例来改变。测量元件与外部压力是通过一个超薄的敏感不锈钢隔膜分开的，在隔膜以及元件中间的封闭腔中都被油所填充。