EL-FLOW 金属密封 F-201CM
金属密封气体质量流量控制器
- 金属密封结构
- 电抛光接液部件
- 洁净室组装
- 高精度，高重复性
- 多气体/多量程功能（可选）
- 快速稳定时间 (低至 600 msec)
金属密封气体质量流量控制器
Bronkhorst® F-201CM质量流量控制器为满足半导体市场以及其他高纯度气体应用而设计。仪表表面光洁度高，采用模块化结构，金属密封，长期密封性好。F-201CM适用于在真空到1000 psig (64 bar) 条件下准确测量0.12…6 sccm 到1…50 slm (等量N2)之间的流量。
EL-FLOW® 金属密封系列配备数字PC板，提供高精度、高稳定性和快速响应。数字PC板包含测量和控制所需的通用功能。除了标准RS232输出外，仪表还提供模拟I/O信号。可选安装接口DeviceNet™、PROFIBUS DP、Modbus、EtherCAT®、PROFINET 或 FLOW-BUS 协议。EL-FLOW® 金属密封系列设计具有可选的多气体/多量程功能，为OEM客户提供优化的灵活性和工艺效率。
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