EL-FLOW金属密封 F-111CM

金属密封气体质量流量计

Bronkhorst^®  F-111CM质量流量计为满足半导体市场以及其他高纯度气体应用而设计。仪表表面光洁度高，采用模块化结构，金属密封，长期密封性好。F-111CM适用于在真空到1500 psig (100 bar)条件下准确测量0.12…6 sccm 到1…50 slm (等量N₂)之间的流量。

EL-FLOW^® 金属密封系列配备数字PC板，提供高精度、高稳定性和快速响应。数字PC板包含测量和控制所需的通用功能。除了标准RS232输出外，仪表还提供模拟I/O信号。可选安装接口DeviceNet™、PROFIBUS DP、Modbus、EtherCAT®、PROFINET 或 FLOW-BUS 协议。EL-FLOW^® 金属密封系列设计具有可选的多气体/多量程功能，为OEM客户提供优化的灵活性和工艺效率。