玻璃涂层工艺与流量测控

为达到薄膜涂层优化品质标准，工艺气系统须能提供高品质的涂层一致性。大规模涂层设备使用中如何简化维护也是重要的关注点。Bronkhorst了解玻璃涂层工业的需求，开发了成熟的方案用以满足大规模玻璃涂层应用的要求。

工艺方案

通过准确气体喷溅获得一致性的涂层是一种物理气相沉积（PVD）工艺，其在高压加速下将原子或分子由源转移到基材表面上。作用是使某些有特殊性能（强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等）的微粒喷涂在性能较低的母体上，使母体具有更好的性能。

喷溅的原子被推进到母体上，在其表面形成薄膜涂层。

工艺要求使用惰性气体：常用氩气，但是有些喷溅工艺采用氧化物或氮化物参与其中，这种情况下，惰性喷溅气体需加入氧气、氮气。

根据其特性，该工艺要求低压，但是工艺气体流量需足够离子轰击发生，否则不可能保持等离子。因此，工艺气体须精细控制，不然产品品质以及同质性的涂层将大打折扣。

带比例电磁控制阀，Bronkhorst质量流量控制器是这一应用的理想选择，可同时实现超快、平稳控制，优化稳定性和重复性。