半导体和LED照明产业
最初,热式质量流量计和控制器是在1970年代为半导体制造过程中的气相沉积而开发的。由于市场需求以及在气体、液体和蒸汽输送方面引进新的更好产品的需要,Bronkhorst成为半导体、平板显示器和LED行业的主要供应商。针对化学气相沉积(CVD)、平板显示器喷涂(FPD)和原子层沉积(ALD)工艺,Bronkhorst可为直接液体注入系统提供金属密封流量仪表。 |
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应用案例
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最初,热式质量流量计和控制器是在1970年代为半导体制造过程中的气相沉积而开发的。由于市场需求以及在气体、液体和蒸汽输送方面引进新的更好产品的需要,Bronkhorst成为半导体、平板显示器和LED行业的主要供应商。针对化学气相沉积(CVD)、平板显示器喷涂(FPD)和原子层沉积(ALD)工艺,Bronkhorst可为直接液体注入系统提供金属密封流量仪表。 |
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