层流元件：流量计核心部件

Bronkhorst与 Veco Precision一起致力开发Bronkhorst核心部件之一：层流元件。层流元件是Bronkhorst流量计的机械心脏。为什么说层流元件是流量计的关键部件呢？

热式质量流量计

热式质量流量计测量气体的质量流量，采用加热元件和温度传感器的组合，使用热力学原理推导实际流量。温度、压力或密度变化需要少量校正并且很准确，尤其是在测量小流量时。

层流元件-核心部件

图1 所示层流元件是基于旁路原理的热式质量流量计的核心部件。层流元件(LFE)的功能是产生分流。对于基于旁路原理的热式质量流量计，质量流量在主流道的旁路中测量。由于LFE的特定尺寸，可以产生与毛细传感器管相同的线性压力/流量特性。

Veco Precision 蚀刻的薄堆叠板用于创建层流元件，可测量非常小到中等大小流量(< 1 mln/min 到20 ln/min)。旁路是内径0.2mm的毛细管，可满足快速响应和低耗能要求，因为只需要加热一小部分管道。

化学蚀刻金属零部件工艺

为了创造行业产品，制造商须实现产品的小型化，从而实现组件的小型化。对于层流元件中的流盘，我们采用了化学蚀刻工艺，这是一种微精密零件的制造方法。

化学蚀刻

化学蚀刻（也称光化学加工和化学铣削）既快速又经济，精度也很高。无需高昂的工具或机械，即可生产复杂、多层次、多功能、高精度的零件。相较“传统”机器工艺（如CNC加工、冲压、金属丝腐蚀）以及“更现代”的工艺（如激光切割和电化学加工），化学蚀刻具有灵活性和可扩展性，提供了从原型机到大规模生产的具有竞争力的替代方案。快速原型可在几天内根据图纸生产出来。

主要优势

• 无应力和毛刺零件
• 微米尺寸
• 严格公差
• 应用材料广泛
• 厚度从25um到2mm
• 圆孔、锐边、直边或异形边
• 快速成型
• 制造成本效应
• 灵活性，便于修改

气体流量测量

流量测量同温度、压力和液位测量一样被视为“需要知道”的工艺参数之一。准确的气体质量流量测量对于许多工业和实验室过程的操作和控制至关重要。

EL-FLOW Prestige质量流量计

EL-FLOW Prestige 气体热式质量流量计是下一代Bronkhorst气体质量流量计/控制器。几乎所有的核心部件都经过了重新设计，升级和改进。Bronkhorst在该系列引入了“温差平衡”技术，确保良好的传感器稳定性。