流量控制 | MOCVD

MOCVD是LED生产制造过程中的一个步骤。在MOCVD工艺流程中，载气将一种或多种气态金属有机化合物引导至晶片。化合物分解并在晶片上沉积很薄的晶体层，从而制成红色、绿色或蓝色发光LED。沉积的材料类型-通常是某种氮化物-决定了要发光的颜色。

一家大型电视屏幕微型LED制造商使用MOCVD，氢气作为载气。Bronkhorst台湾公司为其提供可靠、稳定的解决方案来供应载气。

工艺方案

为了提高MOCVD工艺的质量，从而提高LED质量，Bronkhorst台湾公司提供了多个EL-FLOW Metal Sealed 质量流量控制器用作AIXTRON G3/G4代MOCVD设备的标准元件。

使用这些流量控制器的目的是控制氢载气流量。稳定的载气流量是整个工艺质量的关键，因为其流量决定了LED组件的沉积速率。

Bronkhorst质量流量控制器提供大量气体用于填充MOCVD反应器设备的腔室。使用了几种不同的类型：典型气体流量为20 ml/min的小流量EL-FLOW质量流量控制器到流量为20 l/min的大流量EL-FLOW质量流量控制器。