流量控制 | MOCVD

稳定精准流量控制

Bronkhorst质量流量控制器在MOCVD工艺制造LED的过程中起着重要作用。稳定精准的氢气气体流量控制可提高MOVCVD工艺条件从而提高LED产品质量。

MOCVD是LED生产制造过程中的一个步骤。在MOCVD工艺流程中，载气将一种或多种气态金属有机化合物引导至晶片。化合物分解并在晶片上沉积很薄的晶体层，从而制成红色、绿色或蓝色发光LED。沉积的材料类型-通常是某种氮化物-决定了要发光的颜色。

一家大型电视屏幕微型LED制造商使用MOCVD，氢气作为载气。Bronkhorst台湾公司为其提供可靠、稳定的解决方案来供应载气。

客户要求对载气氢气供应进行更准确的流量控制，以改进MOCVD工艺，从而提高LED的质量。需要稳定的流量条件和流量控制器对设置改变进行快速响应。

为了提高MOCVD工艺的质量，从而提高LED质量，Bronkhorst台湾公司提供了多个EL-FLOW Metal Sealed 质量流量控制器用作AIXTRON G3/G4代MOCVD设备的标准元件。

使用这些流量控制器的目的是控制氢载气流量。稳定的载气流量是整个工艺质量的关键，因为其流量决定了LED组件的沉积速率。

Bronkhorst质量流量控制器提供大量气体用于填充MOCVD反应器设备的腔室。使用了几种不同的类型：典型气体流量为20 ml/min的小流量EL-FLOW质量流量控制器到流量为20 l/min的大流量EL-FLOW质量流量控制器。

EL-FLOW Metal Sealed质量流量控制器的一大优势是拥有良好的金属对金属密封能力。其高质量的表面也使其适合半导体和太阳能行业的严格要求。此应用中还用到了EL-PRESS Metal Sealed 压力控制器。

应用中使用此类装置可实现稳定的氢气气体流量，并可对工艺条件的变化做出快速响应。工艺流程的改进可降低成本并减少库存项目。

Bronkhorst台湾公司服务部已成立10多年，对装置进行校准和维修。服务团队还会现场拜访客户，提供如何使用流量仪表以及如何改进工艺流程的建议。

该项目服务团队通过调整质量流量装置的PID设置来微调过程，以在MOCVD系统中获得更好的控制性能。